2.5 復雜微細結構的激光加工與測量技術及裝備（重大共性關鍵技術類）

研究內容：研究微細激光光束聚焦機理及激光掃描方法；研究突破激光衍射極限的高深寬比納米結構的激光加工技術；研究超細激光制造過程監測和加工質量控制方法；開發超細激光聚焦加工樣機及質量檢測設備。

考核指標：研制出微細激光聚焦加工樣機，加工范圍不小于100mm×10mm×100nm，實現深寬比>10:1三維納米結構，以及特征尺度<10nm的二維納米結構激光制造；開發出橫向分辨率< 100nm，軸向分辨率< 1nm并且測量范圍不小于100mm×10mm×100nm的超分辨三維光學測量裝置。實現1-2件微納器件制造應用。

2.6 激光高性能連接/超精密焊接裝備（重大共性關鍵技術類）

研究內容：面向國家重大需求，研究兩個方面內容：（1）研究納米材料/結構的激光制造并用于低溫連接高溫服役電子器件的連接技術；研究復雜微納尺度操作與激光光束協同控制、同質/異質材料可控納米連接技術與裝備。（2）研究光電器件超精密激光焊接技術；突破位置精確搜索、亞微米精度運動控制、激光束精確整形傳輸、焊點微位移控制等關鍵技術；研制光電器件的超精密激光焊接裝備。

考核指標：（1）研發激光納米連接裝備，精度優于40nm；實現低溫連接(<250℃)高溫服役(>300℃)的微納功能器件連接制造，壽命加速實驗滿足相關器件國際標準；實現納米材料激光無損連接，且接頭強度超過母材的90%；應用于2-3項新型微納功能器件。（2）研制不少于3類超精密激光焊接裝備，焊接精度優于1μm，支撐光電器件精密焊接的重大應用，如光通信激光器焊接、有機顯示屏密封、衛星準直器焊接等。

有關說明：激光納米連接裝備、超精密激光焊接裝備可以分別申報。

2.7大型構件的激光高效清洗裝備（重大共性關鍵技術類）

研究內容：研究激光對材料涂層、污物及微小顆粒等作用的物理機制及激光清洗方法；研究激光時間-空間-功率、熱變形等對制造性能影響的多元參數實時在線檢測與矯正技術；開發針對大型構件高效激光清洗、復雜構件選區清洗成套裝備技術。

考核指標：面向航天、高鐵、海洋等領域的重大需求，研發多元參數矯正系統（光斑尺寸與平均功率輸出精度誤差優于1%）；研發不少于2類激光清洗裝備并實現典型工程應用驗證：（1）大型構件涂層清洗效率大于40m2/h，清洗厚度精度優于10μm；（2）選區清洗定位精度優于0.1mm，金屬構件清洗質量不低于Sa3級。

(責任編輯：admin)

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